簡要描述:二探針單晶硅及多晶硅測試儀 本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
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二探針單晶硅及多晶硅測試儀 型號:TC-GL-1
本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,特別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前,在、等先進(jìn)的工業(yè),均采用了二探針法,使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。
儀器符合ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),是一種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法精確測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,指導(dǎo)和監(jiān)視工藝操作,也可以用來測量金屬材料的電阻,儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、造型美觀等特點(diǎn)。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。
儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三部分,儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗高,并設(shè)有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測試時(shí),具有系數(shù)修正功能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎,造型美觀,可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品,并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測量,也可以自由選擇固定位置測量,電活動(dòng)自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測試探頭能自動(dòng)升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長特點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.可測硅材料尺寸:
直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的技術(shù)要求。
長度:100~1100mm.
2.測量方式:軸向測量,每隔10mm測量一點(diǎn)。
3.測量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。
4.數(shù)字電壓表:
(1)量 程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
(3)輸入阻抗:0.2mV和2mV檔>106Ω
20mV檔及以上>108Ω
(4)顯 示:31/2位LED數(shù)字顯示,范圍0~1999。
5.恒流源:
(1)電流輸出:直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。
(2)量 程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.二探針測試裝置:
(1)探針間距:4.77mm
(2)探針機(jī)械游移率:0.3%
(3)探針壓力:0~2kg可調(diào)
(4)測試探頭自動(dòng)升降
7.二探針測試臺
(1)測試硅單長度:100-1100mm
(2)測試點(diǎn)間距:10mm
(3)測試臺有慢、快二種移動(dòng)速度,快速移動(dòng)速度為1000mm/分(均勻
手動(dòng))
8.電源:交流220V±10%,50HZ±2HZ,消耗功率<150W
產(chǎn)品名稱:智能型環(huán)境測試儀 便攜式溫濕度大氣壓力計(jì) 產(chǎn)品型號:PTHA601 |
智能型環(huán)境測試儀 便攜式溫濕度大氣壓力計(jì)型號:PTHA601
一、用途:
PTHA601智能型環(huán)境測試儀(溫濕度大氣壓力計(jì))是一種高穩(wěn)定多功能的測量儀器,于30.00~110.0kPa范圍內(nèi)的環(huán)境大氣壓力、-30~+70℃的范圍內(nèi)的環(huán)境大氣溫度; 0~ RH范圍內(nèi)的探測點(diǎn)空氣濕度、-20~+60℃范圍內(nèi)的探測點(diǎn)空氣溫度的測量,是各環(huán)境監(jiān)測站、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)藥衛(wèi)生、建筑空調(diào)供暖、通風(fēng)、無塵室測試或標(biāo)定大氣壓力及溫濕度的理想儀器。
二、特點(diǎn):
1. 便攜式、多功能、高分辨率、高精度、高穩(wěn)定性、數(shù)字顯示、直讀測量數(shù)據(jù)。
2. 全觸摸按鍵、液晶顯示、中文面板指示測量功能、操作簡便、直觀易讀、性價(jià)比高。
3. 直讀大氣壓力、溫度;空氣溫度、濕度等測量數(shù)據(jù)及連接電腦輸出測量數(shù)據(jù)(選配)。
4.采用*,帶校準(zhǔn)、帶溫補(bǔ)的高精度大氣壓力傳感器。
5.采用瑞士*,帶校準(zhǔn)、帶溫補(bǔ)的溫濕度傳感器。
6、采用飛利浦*低功耗微電腦處理器及其他優(yōu)良元器件。
7.內(nèi)置一體化大氣壓力、大氣溫度探頭,可測量大氣壓力、大氣溫度(環(huán)境溫度)。
8、外置一體化空氣濕度、空氣溫度探棒,可測量空氣溫度(風(fēng)溫)、空氣濕度、空氣露點(diǎn)。
9.具有測量值溫度補(bǔ)償和智能數(shù)值穩(wěn)定功能。
10.低電池電壓指示。
11.使用一節(jié)9V疊層電池可連續(xù)工作50小時(shí)以上。
三、技術(shù)指標(biāo):
工作范圍
大氣壓力30.0~110.0kPa /內(nèi)置大氣壓力
大氣溫度-20~+60℃ /內(nèi)置大氣溫度)
空氣濕度0~ RH(溫濕度探棒)
空氣濕溫度-30~70℃ (溫濕度探棒)
分辨率
大氣壓力0. 01kPa
大氣溫度0.1℃
空氣濕度0.1%RH
準(zhǔn)確度等級
大氣壓力±0.3KPa(在30.0~110.0kPa內(nèi))
大氣溫度±2.0℃(在0~65℃內(nèi))
空氣濕度±3%RH(標(biāo)配)
±2%RH(選配)
注:以上是20~80%RH范圍內(nèi)的準(zhǔn)確度等級
空氣濕溫度±0.4℃在25℃時(shí),±0.9℃(0~40℃)
電腦接口RS232(選配)
波特率9600bd
預(yù)熱時(shí)間5~15分鐘
電源使用一節(jié)9V疊層電池
二探針單晶硅及多晶硅測試儀
產(chǎn)品名稱:FSY-B型腐蝕率監(jiān)測儀 腐蝕率監(jiān)測儀 產(chǎn)品型號:FSY-B |
FSY-B型腐蝕率監(jiān)測儀 腐蝕率監(jiān)測儀 型號 FSY-B
一、概述
FSY-B型腐蝕率監(jiān)測儀是應(yīng)用現(xiàn)代腐蝕電化學(xué)理論,采用了先進(jìn)的計(jì)算 機(jī)技術(shù),它是具有堅(jiān)固美觀的外型,操作簡便等特點(diǎn)的腐蝕率測試儀器。它 可廣泛運(yùn)用于金屬腐蝕控制研究和工業(yè)循環(huán)水系統(tǒng)現(xiàn)場腐蝕在線監(jiān)測。
二、FSY-B型腐蝕率監(jiān)測儀技術(shù)參數(shù)
?。?、測量范圍:0.000~1.000mm/a;
?。?、精度:0.0001mm/a;
3、工作電壓:220V±10﹪,50Hz±5﹪;
?。础⑾墓β剩?5W;
?。?、外形尺寸:260×270×75(mm )。
三、FSY-B型腐蝕率監(jiān)測儀功能特點(diǎn)
自動(dòng)連續(xù)測量、記錄數(shù)據(jù)、繪制腐蝕、點(diǎn)蝕曲線和微機(jī)間的數(shù)據(jù)通訊等 功能,顯示和打印測試電材料的瞬時(shí)腐蝕率、點(diǎn)蝕、平均腐蝕率。儀器 配有RS485通訊口。
使用該儀器觀察腐蝕的變化過程和趨勢是它主要的功能。
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